无油干式涡旋真空泵的检查与维护有以下几个方面
1. 无油涡旋真空泵为防止碎屑在泵中沉积，每天抽大气几次，每次3～5秒。
2. 要注意高温，在泵足够冷却后，再进行检查与维护。停泵后立即维修可能引起烧伤。
3. 检查与维护之前一定要切断电源。否则可能引起电击或被旋转物伤害。
4. 如果安装与工作条件差、工作环境温度超过规定，请缩短维护间隔。环境温度是泵失效的主要影响因素。标准维护间隔是以环境温度5～45℃，年平均温度25℃为基础制定的。
5. 检查与维护内容要点
| 部件 | 检查点与注意点 | 检查时间间隔 |
| 轴承 | 异常噪音（听） | 每天检查 |
| 更换轴承 | 8000小时 | |
| 密封件如密封垫、 O 型圈 | 更换密封件 | 8000 小时 |
1. 故障诊断与排除
几年来用户在无油涡旋真空泵的使用过程中，陆续发现了各种问题，也总结了问题解决的方法。归纳起来，不外乎下述各种。如果出现故障，可以参照下表排除之。如果自己不能解决问题，可以联系我们厂方或者当地经销商。同时笔者欢迎用户提出使用中的问题，以利于无油涡旋真空泵的进一步改进。
毫无疑问价格适中、性能可靠的无油干式涡旋真空泵将成为适合中国市场要求产品的主流,大力发展涡旋无油真空泵势在必行。研制符合中国市场要求的涡旋类及其它无油真空泵系列产品及其检测技术手段也成为中国真空获得行业进一步发展的一个契机。
无油涡旋真空泵故障诊断表
| 现象 | 原因 | 解决方案 |
| 泵停转 | 开关异常 | 检修 |
| 边线松脱、短线 | 检修 | |
| 电压下降 | 检查电缆长度和尺寸 | |
| 电机异常 | 检修 | |
| 泵异常 | 检修 | |
| 极限真空度上不去 | 法兰口被刮伤 | 与当地经销商联系修理 |
| 管路被堵 | 加热除气或更换管路 | |
| 管路漏气 | 检查管路连紧 | |
| 抽入水或者溶剂 | 将进气口通大气抽几分钟，然后关闭进气口抽约 24 小时 | |
| O 型圈破损 | 更换 | |
| 气镇阀堵赛 | 清洗气体过滤器或更换之 | |
| 异常噪声、振动 | 连接件松脱 | 紧定连接 |
| 泵未放平 | 调平基础 | |
| 异物进入泵中 | 检修 | |
| 排气阀失效 | 检修 | |
| 电机失效 | 检修 | |
| 轴承损坏 | 与厂方或者当地经销商联系换轴承 | |
| 抽气口被堵 | 与厂方或者当地经销商联系修理 |
